안녕하세요? 

저는 플라즈마에 관심이 많은 학생입니다.


다름이 아니라, 플라즈마 공정 시 어떠한 박막에 대하여 photon이 박막의 결합을 파괴하면서 플라즈마 손상을 줄 수 있다는 내용을 들었는데요,

자외선 측정기들을 찾아보니 mW/cm^2 의 값으로, 측정이 되어 값을 알 수 있는데,

예를 들어 어느 한 결합의 결합 에너지가 10 eV 라면, 자외선 측정기의 값과 결합에너지를 직접적으로 광자에너지의 단위로 비교가 가능할까요?

검색해보니 mW 는 시간을 도입하여 mW x sec --> mJ로 계산이 되고 이를 eV로는 변환할 수 있는 것 까지는 확인하였으나 /cm^2 를 어떻게 해야할지 잘 모르겠습니다.

고견주시면 감사드리겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1603
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2545
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49537
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59746
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75861
» 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 190
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 832
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 514
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1655
539 플라즈마 살균 방식 [2] 10439
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 597
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 693
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 175
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 551
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1109
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 2483
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 586
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1564
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1091
529 질문있습니다 교수님 [1] 12917
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 721
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 208
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 7096
525 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 981
524 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 482

Boards


XE Login