Others 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
2020.07.12 22:53
안녕하세요?
저는 플라즈마에 관심이 많은 학생입니다.
다름이 아니라, 플라즈마 공정 시 어떠한 박막에 대하여 photon이 박막의 결합을 파괴하면서 플라즈마 손상을 줄 수 있다는 내용을 들었는데요,
자외선 측정기들을 찾아보니 mW/cm^2 의 값으로, 측정이 되어 값을 알 수 있는데,
예를 들어 어느 한 결합의 결합 에너지가 10 eV 라면, 자외선 측정기의 값과 결합에너지를 직접적으로 광자에너지의 단위로 비교가 가능할까요?
검색해보니 mW 는 시간을 도입하여 mW x sec --> mJ로 계산이 되고 이를 eV로는 변환할 수 있는 것 까지는 확인하였으나 /cm^2 를 어떻게 해야할지 잘 모르겠습니다.
고견주시면 감사드리겠습니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77093 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20400 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57308 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68850 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92863 |
| 561 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1128 |
| 560 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1137 |
| 559 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 1142 |
| 558 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1146 |
| 557 | 자기 거울에 관하여 | 1146 |
| 556 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1146 |
| 555 | wafer bias [1] | 1149 |
| 554 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1150 |
| 553 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1152 |
| 552 | 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] | 1153 |
| 551 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1157 |
| 550 |
전자 온도 구하기
[1]  | 1162 |
| 549 | 공정플라즈마 [1] | 1165 |
| 548 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1168 |
| 547 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1175 |
| 546 | 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] | 1180 |
| 545 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1180 |
| 544 | Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] | 1187 |
| 543 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1197 |
| 542 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] | 1201 |
자외선은 파장대가 매우 넓습니다. 자외선 A (315-400nm: 3.1-3.84eV)/B(280-315:3.94-3.43)/C(100-280:4/43-12.4)/근자외선/중간자외선/원자외선/진공자외선/극자외선(10-121nm:6.12-12.4nm) 입니다. 여기서 보시면 파장의 길이가 짧아 질 수록 상응하는 에너지는 커지는 것을 알 수 있을 것입니다. 즉 자외선 파장과 에너지는 반비례 하며, 이는 특정 자외선의 특징으로 해당 자외선이 가지는 광자의 에너지입니다. 따라서 질문은 해석하기 위해서는 광자가 가지는 파장과 에너지의 관계를 공부해 보시면, 이런 에너지를 가진 광자들이 flux를 가지고 입사할 때 전달하는 면 에너지 밀도와 차이를 구별하실 수 있겠습니다. 또한 자외선 측정기의 측정 자외선은 측정기의 특징에 따라서 어떤 자외선을 측정했는가 확인하시려면 측정기의 스펙을 살표 보시면 정보를 얻을 수 있겠습니다. 참고가 되었기를 바랍니다.