진공 문제입니다. 벽면에 붙어 있는 입자들을 관리하려면 물리적결합을 하거나 화학적결합을 한 경우로서, physorption/chemisorption 의 주제어로 검색해서 '반드시' 공부하셔야 합니다. 물리적 결합력이 화학적 결합력 보다 낮아, 진공 펌프를 오래 틀어 놓으면 대부분 떨어져 나갑니다만 시간이 많이 걸리는 문제가 있습니다. 그렇다 하더라도 화학적 결합을 한 입자들은 잘 떨어지지 않습니다. 화학적 결합력은 표면입자와의 결합이므로 열을 가하면, 즉 chamber 벽면에 열선을 감아서 온도를 올려주면, 화학적 결합물도 떨어집니다. 

만일 플라즈마를 잠깐이라도 컬 수 있는 구조라면 (혹시 장치 세정 등의 이슈가 심각하면 수분 관리와 함께 플라즈마 소스내재화를 권장할 만합니다만?), 알곤플라즈마를 이용하면 보다 빠른 시간에 수분을 제거할 수 있겠습니다. 하지만 수분을 완벽하게 제거하기는 결코 쉽지 않습니다만 일정 수준을 유지하는 방법이 될 수 있습니다.   

아울러 이미 적용하시겠지만, 진공파기 전에 퍼지(purge) 가스로 불활성가스를 주입하고 장비를 여는 것이 좋습니다. 

마지막 질문은 벽면에서 수분 입자가 탈착한 경우 배기되는 가 문제인데, 진공도가 일부 존재하는 공간이라면 탈착된 입자는 반응기 내부 및 샘플 표면으로 쉽게 확산된다고 가정하는 것이 좋습니다. 진공도에 따라서 확산 범위는 넓어지기 때문입니다. 

따라서 수분 관리는 장비 상태 관리의 최전선의 문제로서, 수분 관리를 잘 하면 공정 안정성과 균일도 및 수율을 높일 수 있다는 의미가 되겠습니다.