ICP구조에서 PIC 시뮬레이션을 하려고 합니다. 

 Ar+의 particle의 움직임을 관찰할 때 해석 time step의 size가 1/(plasma frequency)보다 작아야 한다고 알고있습니다.

이 때 Ar+의 입자를 분사하는 시간을 질문드립니다.

그리고 PIC관련 서적 추천 부탁드립니다.

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 228268
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 65836
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 102909
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 114992
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 195900
558 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 3280
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode] [2] 4863
556 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 3579
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 2707
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [웨이퍼 근방 쉬스 특성, Edge ring] [2] 5333
553 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 3027
552 안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수] [2] 4823
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 2600
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 4130
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건] [3] 8156
548 Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp] [2] 3242
» 플라즈마 PIC 질문드립니다. [PIC simulation] [1] 12021
546 [RIE] reactice, non-reactice ion의 역할 [Dissociation과 Ar plasma] [1] 4895
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 3672
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas] [1] 6736
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 3150
542 Dry etch 할 때 센터와 사이드 etch rate [Plasma diffusion과 distribution] [1] 4452
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [Lorentz force와 magnetic confinement] [1] 4271
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss] [3] 6647
539 플라즈마 살균 방식 [Plasma medicine] [2] 14073

Boards


XE Login