안녕하세요

저는 직장인입니다

회사에서 OLED쪽 CVD 장비유지보수 업무를 하고있습니다

그동안 플라즈마 연구실에서 궁금한거 눈팅만 하다가 이번에는 없어서 직접 질문드립니다

보안에 위배될까봐 자세히는 적지 못 합니다 이해 부탁드립니다.

증착 중 부속 장비의 알람 발생으로 증착 중 RF Power 및 가스 Flow가 중단되어 증착이 중단됩니다

Alarm 발생 Glass를 살리기 위해 Glass 제전(전극과 Glass 간격을 벌려줌) 후 추가증착을 진행(추가증착시 전극에 Glass 안착 후)하는데

이 추가증착 진행 Glass에서 흰얼룩(뿌연얼룩/방사형얼룩)이 발생됩니다

이것을 해결 하기 위한 방법이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1689
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 5767
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 76003
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 1224
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 1507
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 340
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2756
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 4388
558 알고싶습니다 [1] 375
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1340
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 279
» 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 307
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1565
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1084
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1803
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 294
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 814
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 929
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 414
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 9167
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 632
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 394
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 982

Boards


XE Login