Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77088 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20396 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57305 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68848 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92858 |
601 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17815 |
600 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 | 17794 |
599 | 교육 기관 문의 | 17783 |
598 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17768 |
597 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17756 |
596 | 충돌 | 17716 |
595 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 17712 |
594 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 | 17629 |
593 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17621 |
592 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 17589 |
591 | 유전체 플라즈마 | 17568 |
590 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17514 |
589 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 17458 |
588 | Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. | 17354 |
587 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17210 |
586 | PSM을 이용한 Radical측정 방법 | 17089 |
585 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 | 17088 |
584 | Light flower bulb | 17081 |
583 | RF에 대하여,, | 17061 |
582 | 형광등으로 부터 플라즈마의 이해 | 17011 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .