Chamber component 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터]

2020.09.09 11:31

알고싶어요알려주세요 조회 수:1703

안녕하세요. 반도체 장비부품쪽 업종에서 일을 하고 있습니다.

 

현재 Etch 장비를 Coating 후 1Cycle을 사용한 후 Particle Issue가 일어나 중간에 세정을 진행하여 장착하면 E/R값이 상승합니다.

 

E/R값을 잡기 위해서 세정후에 Coating면에 Plasma를 조사하면 어떨까 하는데 효과가 있을지가 궁금하고 E/R값이 전반적으로 어떤 것에 영향이 미치는지 궁금합니다.

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