안녕하세요.

국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.

 

궁금한 점은

 

DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.

 

압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.

 

이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1554
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2416
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59725
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75748
582 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1136
581 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 318
580 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 204
579 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 358
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 200
» 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 9823
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 439
575 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1378
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 207
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 307
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 5931
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 392
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 316
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 723
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 571
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 522
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4113
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 385
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1078

Boards


XE Login