Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
2021.07.05 14:38
안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.
한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.
Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.
-> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.
RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서
나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.
그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] | 77181 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20453 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57351 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68890 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92929 |
804 | CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. | 8 |
803 | Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] | 11 |
802 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 31 |
801 | Druyvesteyn Distribution | 38 |
800 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 48 |
799 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 53 |
798 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 54 |
797 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 58 |
796 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 59 |
795 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 70 |
794 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 72 |
793 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 75 |
792 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 82 |
791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 82 |
790 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 88 |
789 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 100 |
788 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 102 |
787 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 107 |
786 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 112 |
785 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 114 |