Matcher Plasma Arching
2022.09.13 19:17
안녕하십니까!
경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데
신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.
1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?
답변주시면 감사하겠습니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76893 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92718 |
| 679 |
plasma striation 관련 문의
[1]  | 486 |
| 678 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 557 |
| 677 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 633 |
| 676 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] | 558 |
| 675 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] | 1191 |
| 674 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 1221 |
| » | Plasma Arching [1] | 1077 |
| 672 | Polymer Temp Etch [1] | 678 |
| 671 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] | 1022 |
| 670 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 493 |
| 669 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1417 |
| 668 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1297 |
| 667 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 455 |
| 666 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 814 |
| 665 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 894 |
| 664 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 832 |
| 663 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 5115 |
| 662 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1265 |
| 661 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 699 |
| 660 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 613 |
재료적 관점에서 플라즈마를 전기적 물성을 가진 재료로 생각해 보세요. 이 개념은 플라즈마의 dielectric property를 이해하는 것으로 시작하는데, 특히 lossy 한 재료가 가지는 RF 반응을 이해하면 좋습니다. 따라서 plasma dielectric property 에서 rf 주파수의 역할, plasma frequency, 및 기본적인 collision frequency 가 dielectric property를 어떻게 바꾸는가에 대해서 생각을 정리해 보세요. 이를 이해하기에 좋은 교재는 물리2 이고 Maxwell 방정식으로 부터 plasma dielectric frequency를 유도할 수 있으면, 플라즈마 공부하시는데 크게 지장은 없습니다. 참, 입자의 거동이니 하전입자의 운동 방정식과 연속 방정식은 늘 함께 다니는 식입니다. 이는 물리 1에서도 다루고 있습니다.
전자기학 책에 너무 연연하지 마시고 일반 물리에서 배운 지식을 잘 활용해 보시면 좀 더 수월하게 접근하실 수 있는 분야가 플라즈마 분야라 생각합니다.