현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2330
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12844
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49616
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61101
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79312
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 529
» CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 260
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 330
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 354
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 263
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 583
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 609
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 292
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 572
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 620
609 전자 온도 구하기 [1] file 431
608 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 144
607 CVD 공정에서의 self bias [1] 688
606 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2681
605 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 260
604 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1457
603 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 262
602 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 406
601 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 334
600 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 534

Boards


XE Login