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장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발
2021.08.27 18:01
pal_webmaster
조회 수:476
학회명
KAPRA & KPS/DPP
연도
2021
수상자
송재민
상명
우수 포스터 발표상
2021 KAPRA & KPS/DPP 우수 포스터 발표상
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학회명
연도
상명
수상자
제목
한국물리학회
2011
우수발표상
진영길
플라즈마 제트와 텅스텐 입자 간 에너지 균형 모델에 의한 입자의 비행 중 열 이력 평가 및 검증 연구
CAFRE
2011
우수발표상
진영길
핵융합로공학 선행연구센터 중간 연구결과
졸업논문발표회
2011
최우수논문상
장윤창
레이저 원자 흡수 분광학을 이용한 대기압 플라즈마 제트의 수산화기 화학적 활성종 형성에 헬륨 준안정성종이 끼치ㅡ는 영향에 관한 연구
ICMAP
2014
최우수 포스터상
장윤창
Effect of Gap Distance between Top Electrode and Baffle on Plasma Distribution in Peripheral Region
한국반도체디스플레이기술학회
2018
우수논문상
장윤창
플라즈마 정보 인자를 이용한 SiO2 식각율 가상계측 개발 방법론
KVS
2023
학부생 포스터 발표상
임재민
유도 결합 플라즈마의 변압기 회로 모델 기반 용량성-유도성 전력 결합 특성 해석
한국반도체학술대회
2017
Best Poster Award
유상원
Development of Phenomenological Model Based RF Power - Electron Density Controller for SF6/Ar Etch Plasma
ICMAP
2018
Best Poster Award
유상원
Model Predictive Control of Electron Density for Ar/SF6 Etching Plasma
ISSM
2018
Best Paper Award
유상원
Real-time Etch Control to Reduce First Wafer Effect in SF6/O2/Ar Plasma
KAPRA & KPS/DPP
2021
우수 포스터 발표상
송재민
장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발
1st International Fusion and Plasma Conference
2022
Best Poster Award
송재민
Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process
KAPRA
2016
최우수 포스터 상
배병준
충돌성 음극 쉬스 모델을 통한 대기압 유전체 격벽 방전기의 음극 강하 영역 크기 연구
KAPRA & KPS/DPP
2022
우수 포스터 발표상
배남재
고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발
ISSM
2014
Student Award
박설혜
Enhancement of Virtual Metrology Performance for Plasma-Aided Processes by Using Process Plasma Monitoring
한국반도체디스플레이기술학회
2017
최우수논문상
노현준
장비 지능화를 위한 플라즈마 정보 기반의 가상 계측 모델 개발
한국반도체디스플레이기술학회
2017
우수논문상
노현준
반도체/디스플레이 공정 진단 및 제어를 위한 플라즈마 정보 생성 방법론 소개
ICMAP
2018
Best Poster Award
노기백
Enhancement of Crack through the Depth of Grain Growth on Tungsten under Transient High Heat Flux
한국표면공학회
2018
우수 포스터 발표상
노기백
ELM 고열속 인가에 따른 텅스텐의 결정 성장 및 균열 발생 심화 관찰
KAPRA & KPS/DPP
2023
우수 포스터 발표상
노기백
Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence
JK Seminar
2014
Silver Award
김남균
Determination of Ion Concentration in a Ar/Xe and He/Ar Filament Discharged Multi-dipole Plasma Source
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