안녕하세요.

 

플라즈마 클리닝 설비를 다루고 있는 엔지니어입니다.

설비 평가중 궁금한점이 있어서 문의하고자 글을 쓰게 되었습니다.

 

현재 저희 설비는 CCP 구조의 다이렉트 쳄버로 RF Generator와 Matcher를 사용하는 

플라즈마 세정 설비입니다.

 

금번 평가시 사용하였던 자재는 Cu Layer가 노출되어있는 PCB 자재이고 챔버내 Rail이 3개로

Full Loading시 3개가 로딩되는 형식입니다. 그리고 가스는 Ar 10sccm에 파워 425W, 시간 100sec를 쓰고 있습니다.

 

여기서 문제가 되고 있는 점이, 자재 3개 (Full Loading) 로딩시에는 문제가 없는데

1ea개만 로딩하였을때 Rail 위치 상관없이 Cu Layer에서 Discolor (Cu층이 어둡게 변함)가 나오고 있습니다.

저희 판단으로 Cu가 산화 반응을 일으킨 것으로 보고 있습니다.

 

이렇게 자재 로딩 수에 따라 Discolor가 나오기도 하고 안나오기도 하는점이 이해가 안되고

플라즈마 이론적으로 어떻게 해석해야 하는지 몰라 문의드리고 싶습니다.

 

저희가 생각하기에는

첫번째, 같은 쳄버내 체적, 같은 가스량으로, 플라즈마 이온들이 아무래도 3개의 자재의 

분산되다 보니 자재당 플라즈마 효과는 떨어지고 그래서 Discolor도 적어진다고 생각하고,

 

두번째, Full Loading시 1개 로딩보다 상대적으로 전자 축적이 분산되어 약한 음전위(Self Bias)가 걸리게 되어

플라즈마 효과가 감소되고 Discolor도 감소하게 되지 않나 생각하고 있습니다.

 

플라즈마 전문가분들께 꼭 답변을 들어 원인을 알아내 해결을 하고 싶습니다.

부디, 플라즈마에 대한 넓은 식견과 해안으로 도와주시면 감사하겠습니다.

 

※ 저희 설비 CCP구조 도식 및 실제 쳄버사진도 참고용으로 첨부하였습니다. (사진내 자재는 금번 질문과는 상관이 없습니다.)

 

플라즈마 쳄버.png

 

CCP 쳄버구조.png

답변부탁드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4887
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16225
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83512
658 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 203
657 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 405
656 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 292
655 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 495
654 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 319
653 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 438
652 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 673
» 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 412
650 doping type에 따른 ER 차이 [1] 274
649 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 402
648 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 344
647 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 451
646 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 660
645 plasma 형성 관계 [1] 587
644 RF matcher와 particle 관계 [2] 862
643 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2594
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 3942
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 424
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 578
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 623

Boards


XE Login