Chamber Impedance Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]

2022.07.24 20:09

이제민 조회 수:1270

안녕하세요 디스플레이 근무 중인 사람입니다

 

질문

1.Chamber 환경 변화시 VPP 값의 변화

EX) 주기성 Parts 절연체 감소로 인한 Chamber 변동 시

2. 압력과 VPP의 상관관계

 

이 두가지 질문을 드립니다

제가 많이 부족하여 이렇게 쉬운것도

짊질문을 한점 양해부탁드립니다ㅜㅜ

 

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