고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 229793
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 66145
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 103221
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 115349
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 197213
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 1892
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 3736
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 3179
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 4335
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 4427
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 3936
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 3262
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 3966
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 1832
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 4253
» 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 4390
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 2522
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 3790
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 4032
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 2119
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 11477
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 4255
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 3594
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 6833
659 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 4615

Boards


XE Login