안녕하세요.

저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.

 

Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.

Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.

감사합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [321] 86442
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22669
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59375
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71133
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98366
688 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 844
687 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1290
686 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2431
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation] [1] 1527
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1037
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1278
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 859
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 805
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2362
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 721
» Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 667
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 829
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 814
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1511
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1603
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1292
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 952
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1247
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 689
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1726

Boards


XE Login