ESC 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
2023.03.08 15:28
안녕하세요.
실제 양산에서 150mm 200mm 300mm 정전척 마다 chucking을 위해 인가 되는 voltage 값이 얼마 정도 되는지 궁금합니다.
그리고 chucking voltage가 너무 크면 생기는 문제와 그 maximum 값을 정하는 지표가 따로 있을까요?
너무 궁금해서 논문도 찾아보고 그러는데 오픈 되어있는 정보가 너무 없는 것 같아서 답답하네요..
도움을 부탁드립니다...
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77164 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20444 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57345 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68885 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92919 |
682 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 593 |
681 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 596 |
680 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 599 |
679 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 600 |
678 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 601 |
677 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 603 |
676 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 604 |
675 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 605 |
674 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 615 |
673 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 617 |
672 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 618 |
671 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 622 |
670 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 623 |
669 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 623 |
668 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 626 |
667 | RF Sputtering Target Issue [2] | 627 |
666 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 627 |
665 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 632 |
664 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 638 |
663 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 639 |
정전척 관련한 정보는 저희도 갖고 있지 않습니다. 미안합니다.