고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발
2023.07.03 16:12
학회명 | KAPRA & KPS/DPP |
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연도 | 2022 |
수상자 | 배남재 |
상명 | 우수 포스터 발표상 |
2022 KAPRA & KPS/DPP 우수 포스터 발표상
2023.07.03 16:12
학회명 | KAPRA & KPS/DPP |
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연도 | 2022 |
수상자 | 배남재 |
상명 | 우수 포스터 발표상 |
2022 KAPRA & KPS/DPP 우수 포스터 발표상