ATM Plasma 대기압 플라즈마 문의드립니다
2023.11.03 15:13
안녕하세요
Ar 대기압 플라즈마를 사용하여 실험 중에 있습니다.
현재의 문제는 가로의 길이는 넓은 범위로 플라즈마 조사가 가능하지만 세로의 폭을 넓게 하는 것이 한계가 있습니다. (세로 약 18mm)
혹시 관련하여 플라즈마의 영향 범위를 넓힐 수 있는 방법이 무엇이 있는 지 조언 주시면 감사하겠습니다 !
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77111 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20407 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57319 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68860 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92874 |
761 | 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] | 226 |
760 | ICP에서의 Self bias 효과 [1] | 228 |
759 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 238 |
758 | Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] | 240 |
757 | Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] | 243 |
756 | GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] | 259 |
» | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 262 |
754 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 274 |
753 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 276 |
752 | RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] | 279 |
751 | 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] | 295 |
750 | RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] | 306 |
749 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 323 |
748 | 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] | 326 |
747 | E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] | 326 |
746 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 326 |
745 | RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] | 331 |
744 | RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] | 335 |
743 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 340 |
742 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 342 |
저희 경험으로는,
1. 타겟이나 소스를 스캔 하는 방법
2. 독립 전원을 가진 소스를 병렬로 사용하거나, 전원 용량을 충분히 키운 조건의 병렬 전극을 사용하는 방법
단순한 방법 밖에 없네요. 대기압 플라즈마 처리 관련해서는 본 게시판에서 정보를 좀 더 찾아 보시기 바랍니다. 문의하실 곳 추천도 확인하실 수 있습니다. 좋은 결과 있기를 바랍니다.