ATM Plasma 대기압 플라즈마 문의드립니다
2023.11.03 15:13
안녕하세요
Ar 대기압 플라즈마를 사용하여 실험 중에 있습니다.
현재의 문제는 가로의 길이는 넓은 범위로 플라즈마 조사가 가능하지만 세로의 폭을 넓게 하는 것이 한계가 있습니다. (세로 약 18mm)
혹시 관련하여 플라즈마의 영향 범위를 넓힐 수 있는 방법이 무엇이 있는 지 조언 주시면 감사하겠습니다 !
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저희 경험으로는,
1. 타겟이나 소스를 스캔 하는 방법
2. 독립 전원을 가진 소스를 병렬로 사용하거나, 전원 용량을 충분히 키운 조건의 병렬 전극을 사용하는 방법
단순한 방법 밖에 없네요. 대기압 플라즈마 처리 관련해서는 본 게시판에서 정보를 좀 더 찾아 보시기 바랍니다. 문의하실 곳 추천도 확인하실 수 있습니다. 좋은 결과 있기를 바랍니다.