Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:3661

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 232498
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 67977
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 105087
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 117275
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 199649
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 3661
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 4091
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 2814
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 3195
754 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 3848
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 3191
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 3070
751 standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해] [1] 3287
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 3427
749 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 3589
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 1715
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 4042
746 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 4666
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 3813
744 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 3339
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 3357
742 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 3175
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 3753
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 3229
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating] [1] 3859
쓰기
태그

Boards

XE Login