Plasma Source RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭]

2024.02.08 07:35

별의목소리 조회 수:118

안녕하세요..

RF를 사용한 플라즈마를 만들때 RF는 파동형태로 전달이되며 임피던스가 맞지 안으면 반사되어 되돌아오는걸로 알고 있습니다.

RF도 교류이기때문에 전기공학에 쓰이는 전기처럼 전압,전류의 위상차로 인해 발생하는 무효전력이 power source로 되돌아 온다고 보면 될까요?아니면 RF(13.56MHZ)의 반사파를 설명할때 다른 원리로 설명을 해야할까요?

임피던스, 리엑턴스와 같은건 전기공학에 나오는 식으로 RF도 같이 설명이 가능한것 같은데 RF의 반사파(reflector power)는 무효전력 개념으로(공식)  설명(이해)을 해도 되는지가 궁금합니다..

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
779 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 477
778 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 211
777 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 276
776 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 226
775 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 92
774 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 539
773 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 106
772 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 167
771 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 277
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 358
769 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 105
768 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 329
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 183
» RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 118
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 231
764 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 375
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 444
762 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 232
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 280
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 683
쓰기
태그

Boards

XE Login