안녕하세요..

RF를 사용한 플라즈마를 만들때 RF는 파동형태로 전달이되며 임피던스가 맞지 안으면 반사되어 되돌아오는걸로 알고 있습니다.

RF도 교류이기때문에 전기공학에 쓰이는 전기처럼 전압,전류의 위상차로 인해 발생하는 무효전력이 power source로 되돌아 온다고 보면 될까요?아니면 RF(13.56MHZ)의 반사파를 설명할때 다른 원리로 설명을 해야할까요?

임피던스, 리엑턴스와 같은건 전기공학에 나오는 식으로 RF도 같이 설명이 가능한것 같은데 RF의 반사파(reflector power)는 무효전력 개념으로(공식)  설명(이해)을 해도 되는지가 궁금합니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 77984
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20815
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57727
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69234
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93612
816 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [1] 36
815 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 37
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 41
813 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 43
812 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 51
811 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 57
810 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 60
809 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 71
808 플라즈마 식각 커스핑 식각량 77
807 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 78
806 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 81
805 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 86
804 Druyvesteyn Distribution 87
803 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 88
802 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 92
801 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 102
800 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 106
799 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 113
» RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 115
797 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 127

Boards


XE Login