Others PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.

2024.05.25 16:42

세유니 조회 수:1590

안녕하세요 지금 연세대학교에 재학중인 학부생입니다. 다름이 아니라 PECVD실험을 해서 논문을 쓰고 싶은데 PECVD 실험에 대해서 질문드리고자 합니다. PECVD실험을 할때 저희가 변수를 세워야 할 것이 뭐가 있을지 조언을 얻고 싶습니다. 그리고 pe-cvd를 이용하여 박막을 증착시킬경우 박막 특성을 평가하기 위한방법에는 어떤 것이 있나요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 232132
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 67732
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 104838
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 117020
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 199210
» PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 1590
797 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 2894
796 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 3665
795 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 1579
794 Druyvesteyn Distribution 1589
793 플라즈마 식각 커스핑 식각량 1342
792 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 3495
791 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 1013
790 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 3473
789 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 3661
788 플라즈마 설비에 대한 질문 1425
787 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 3484
786 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 3814
785 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 3916
784 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 2636
783 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 3528
782 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 3762
781 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 3479
780 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 3697
779 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 3600
쓰기
태그

Boards

XE Login