Etch 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동
2024.07.03 10:26
안녕하세요, 플라즈마 식각 관련 연구를 수행 중인 석사과정 대학원생입니다.
플라즈마 식각에서 폴리머 증착 및 분해를 통해 비등방성 식각을 수행할 수 있다고 이해하고 있습니다.
그러나 식각 과정 중 설비 내에 부산물, 즉 폴리머가 웨이퍼, ESC, 링 사이에 축적되어 아킹(arcing)이 발생하고,
이로 인해 웨이퍼 및 설비에 손상을 입히게 된다는 것을 알게 되었습니다.
이와 관련하여, 부산물인 폴리머가 어떤 메커니즘으로 분해가 일어나며,
폴리머가 축적되는 이유가 어떤 건지 여쭙습니다.
감사합니다.
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저도 잘 모릅니다. 하지만 좋은 학위 논문 주제로 보입니다. 대상이 되는 장치, 가스 종, 프로세스 타킷, 재료 표면 반응, 가용 플라즈마의 특성, 고려하는 부품 재료 물성, 가스 배기 유로, 와 구체적인 설계 자료가 종합되어야 할 것 같습니다. 아마도 여기서 항목별 관계를 찾는 연구들이 많이 있을 것이니, 이를 종합해서 멋진 결과를 만들 수 있을 것 같습니다. 좋은 주제이니 잘 풀어가시기를 응원합니다.