ESC 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath]
2024.07.24 12:07
안녕하세요. 세라믹 ESC 엔지니어 입니다.
상황: RF전극삽입 세라믹평면(+)과 금속평면(-)의 ESC force 향상이 주요 목적입니다.
500도 이상의 고온 환경입니다.
질문 1: 인가전압을 증가하여 ECS의 증가하려고 했는데. 아래 같이 1000V 이상에서 추가적인 향상이 미미합니다.
계산상 인가전압의 제곱으로 상승해야하나, 그렇지 못한 상황인데, 이럴 경우 가장 의심되는 상황이 있을까요?
- 표면에서 방전 (외관상 아킹의 흔적은 없습니다.)
- 터널링 전자의 이동의 급격한 증가
- 표면타고 전하 누설
- 기타
| 인가전압 | 500V | 1000V | 1500V |
| 계산값 (J-R + classic) | 2.7 | 10.9 | 24.5 |
| 측정값 | 3.3 | 8.5 | 9.0 |
질문 2: 세라믹 표면에 C라던지 상대면의 금속이라던 소량 발견되는데 이러한 metallic한 물질이 ECS의 저하의 원인이 될까요?
- 표면 방전에 영향을 준다. 등등.
제가 상황이 잘 이해는 되지 않습니다만, 전극 사이 (metal)과 표면 사의 세라믹 재료의 전지적 특성을 확인하셨는지요? 저는 다른 이유를 찾기가 힘드네요. 어떻게 해결이 되었는지 알려 주십시오.