OES OES Actinometry 측정 방법

2026.01.05 18:58

Jasper 조회 수:32 

안녕하세요.

OES Actinometry 방법을 통해서 챔버에서 반응성 기체를 정량적으로 분석하고 싶습니다만,

 

논문 및 여러사이트를 검색해도 궁금증이 해소되질 않아 계시판에 글을 올립니다.

 

① 우선 챔버에 공정조건을 진행하면서 OES 데이터 취득 

② 공정가스와 식각물질에 대한 화학종별 파장 분리

③ Nobel gas (Ar, Xe) OES 데이터 취득

④ Intensity X / Intensity Ar =  비율로 Intensity a.u 

 

특허에 적혀진대로 Actinometry 방법으로 진행해보니 

 

OES 데이터에 취득된 Intensity 보다 낮아 데이터의 신뢰성에 의심이 되는데,

 

다른 전문가 분들은 어떤 방법으로  OES Actinometry 진행하시는지 문의드립니다.

 

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