| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2017 | 최우수논문상 | 노현준 |
장비 지능화를 위한 플라즈마 정보 기반의 가상 계측 모델 개발
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2017 | 우수논문상 | 노현준 |
반도체/디스플레이 공정 진단 및 제어를 위한 플라즈마 정보 생성 방법론 소개
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2018 | 우수논문상 | 장윤창 |
플라즈마 정보 인자를 이용한 SiO2 식각율 가상계측 개발 방법론
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2018 | 우수논문상 | 권지원 |
Development of Second Positive System based N2 Collisional Radiative Model
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| 한국반도체학술대회 | 2017 | Best Poster Award | 유상원 |
Development of Phenomenological Model Based RF Power - Electron Density Controller for SF6/Ar Etch Plasma
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| 한국표면공학회 | 2018 | 우수 포스터 발표상 | 노기백 |
ELM 고열속 인가에 따른 텅스텐의 결정 성장 및 균열 발생 심화 관찰
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