Enhancement of Virtual Metrology Performance for Plasma-Aided Processes by Using Process Plasma Monitoring
2015.04.22 12:16
| 학회명 | ISSM |
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| 연도 | 2014 |
| 수상자 | 박설혜 |
| 상명 | Student Award |
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| 학회명 | 연도 | 상명 | 수상자 | 제목 |
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| ICMAP | 2014 | 최우수 포스터상 | 장윤창 |
Effect of Gap Distance between Top Electrode and Baffle on Plasma Distribution in Peripheral Region
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| ISSM | 2014 | Student Award | 박설혜 |
Enhancement of Virtual Metrology Performance for Plasma-Aided Processes by Using Process Plasma Monitoring
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| KAPRA | 2013 | 최우수 포스터상 | 김곤호 외 |
자기탐침을 이용한 대면적 고주파 축전결합형 플라즈마원에서 정상파 효과 측정
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| 한국물리학회 | 2011 | 우수발표상 | 진영길 |
플라즈마 제트와 텅스텐 입자 간 에너지 균형 모델에 의한 입자의 비행 중 열 이력 평가 및 검증 연구
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| CAFRE | 2011 | 우수발표상 | 진영길 |
핵융합로공학 선행연구센터 중간 연구결과
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| 졸업논문발표회 | 2011 | 최우수논문상 | 장윤창 |
레이저 원자 흡수 분광학을 이용한 대기압 플라즈마 제트의 수산화기 화학적 활성종 형성에 헬륨 준안정성종이 끼치ㅡ는 영향에 관한 연구
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