| KAPRA & KPS/DPP | 2021 | 우수 포스터 발표상 | 송재민 |
장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발
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| AEC/APC Symposium Asia 2021 | 2021 | Student Award | 권지원 |
Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacitively Coupled Plasma
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| KAPRA & KPS/DPP | 2022 | 우수 포스터 발표상 | 배남재 |
고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발
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| 1st International Fusion and Plasma Conference | 2022 | Best Poster Award | 송재민 |
Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process
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| KAPRA & KPS/DPP | 2023 | 우수 포스터 발표상 | 노기백 |
Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence
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| KVS | 2023 | 학부생 포스터 발표상 | 임재민 |
유도 결합 플라즈마의 변압기 회로 모델 기반 용량성-유도성 전력 결합 특성 해석
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