Domestic PR Ashing Using SF6/He/O2 Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge
2008.06.26 15:45
연도 | |
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발표형태 |
PAL SNU||2005||-||가을 학술논문발표회||-||-||*Soo-Yeon Jeong, Sang-Heon Song, Daniel Kwon, and Gon-Ho Kim||Korea||. .
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