Domestic SF6 and O2 Effect on PR Ashing in N2 Atmospheric Dielectric Barrier Discharge
2008.06.26 16:37
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발표형태 |
PAL SNu||2006||-||반도체학술대회||-||-||Soo-Yeon Jeong, Ji Hun Kim, Yong-Seok Hwang, and Gon-Ho Kim||Korea||ㄴ
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