Collision 3-body recombination 관련 문의드립니다.
2017.01.19 16:00
Plasma 를 공부하는 중에 bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.
3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.
형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.
단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에
chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.
이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?
이렇게 질문을 드리는 이유는
중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.
이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데
막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.
댓글 2
-
김곤호
2017.01.20 11:30
-
신재희
2017.01.20 16:57
네 2-body recombination 이 안되는 이유에 대해서는 수식적으로나
다른 설명등을 통해서 접했기 때문에 이해하고 있습니다.
다만 3-body recombination process 상에 charge transfer 가 일어나는지에 대한 문제입니다.
예를들어 chamber wall 을 통해 negative ion 과 electron 이 recombination 을 한다면
이 과정에서 chamber wall 과 negative ion 간의 charge transfer 가 일어나면서
recombination 이 진행되는것인지, 혹은 단순히 중간 매개체로써 recombination 상에
참여하는것인지 문의 드립니다.
사실 chamber wall 을 통한 negative ion 과 electron 의 3-body recombination 이 어떻게 일어나는지
mechanism 에 대한 이해가 부족하여 질문의 구체성이 부족할 수 있습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76878 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20274 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68752 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92704 |
337 | 문의 드립니다. [1] | 871 |
336 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 661 |
335 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1407 |
334 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1436 |
333 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1028 |
332 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6254 |
331 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1454 |
330 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 376 |
329 | 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] | 5931 |
» | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 976 |
327 | RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] | 6278 |
326 | 핵융합 질문 [1] | 570 |
325 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 637 |
324 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1974 |
323 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7660 |
322 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1277 |
321 | poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. | 1425 |
320 | SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] | 5355 |
319 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6047 |
318 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8579 |
음이온 전자와 양이온 입자가 결합해서 중성입자가 되어야 하는 과정에서 3-body 충돌의 개념이 필요합니다. 그 이유는 에너지 보존과 모멘텀 보존이 되어야 하기 때문입니다. 이는 당연히 플라즈마 수업에서 2-body 충돌 해석에서 공부를 했을 것이니, 이를 확장해서 생각해 보면 3-body 충돌 조건에 대해서 이해와 수식화를 수월하게 할 수 있을 것 입니다.