Plasma in general 플라즈마 PIC 질문드립니다.

2020.08.04 23:19

palc 조회 수:10381

ICP구조에서 PIC 시뮬레이션을 하려고 합니다. 

 Ar+의 particle의 움직임을 관찰할 때 해석 time step의 size가 1/(plasma frequency)보다 작아야 한다고 알고있습니다.

이 때 Ar+의 입자를 분사하는 시간을 질문드립니다.

그리고 PIC관련 서적 추천 부탁드립니다.

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76857
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20262
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57194
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92611
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2332
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 961
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 759
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2831
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1445
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2489
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 705
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1605
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4513
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1126
» 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10381
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2478
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 896
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3796
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 487
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2283
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1829
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3745
539 플라즈마 살균 방식 [2] 11473
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1385

Boards


XE Login