번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [130] 5620
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16924
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51353
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64229
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84333
693 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. 8
692 plasma modeling 관련 질문 16
691 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 74
690 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 67
689 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 58
688 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 1859
687 ESC DC 전극 Damping 저항 72
686 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 161
685 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 152
684 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 137
683 RF Sputtering Target Issue [1] file 132
682 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 134
681 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 823
680 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 201
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 171
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 205
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 197
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 156
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 151
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 263

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