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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [253] 76392
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19973
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57060
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68530
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91235
773 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 7
772 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. 9
771 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 file 22
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 35
769 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 24
768 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 109
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 51
766 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 38
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 120
764 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 238
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 270
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 156
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 146
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 424
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 296
758 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 119
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 333
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 169
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 211
754 PECVD Uniformity [1] 382

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