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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
[1] | 27766 |
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1178 |
575 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2340 |
574 |
Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
[1] | 425 |
573 |
엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 994 |
572 |
플라즈마 기술관련 문의 드립니다
[1] | 6399 |
571 |
ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
[2] | 706 |
570 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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569 |
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
[1] | 917 |
568 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1317 |
567 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1076 |
566 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 5307 |
565 |
연면거리에 대해 궁금합니다.
[1] | 778 |
564 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1598 |
563 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2154 |
562 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2463 |
561 |
Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 522 |
560 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3234 |
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좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 16550 |