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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[335]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [반사파 형성과 플라즈마 운전 조건]
[2] | 25284 |
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Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown]
[1] | 25363 |
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스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요?
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plasma와 arc의 차이는? [Arc의 temperature]
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충돌단면적에 관하여
[2] | 26725 |
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공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [공정 과정 및 장치 상태]
[2] | 26864 |
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dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity]
[3] | 26988 |
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self bias (rf 전압 강하)
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이온과 라디칼의 농도 [해리도와 전자 에너지 분포]
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플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[2] | 27612 |
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플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle]
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플라즈마 온도 [Density와 Temperature]
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DBD란
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탐침법
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OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보]
[1] | 28271 |
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esc란?
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플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. [플라즈마 도서 추천]
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sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름]
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반도체 관련 질문입니다.
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Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시]
[1] | 28993 |
