번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19972
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57059
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68530
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91232
612 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1878
611 라디컬의 재결합 방지 [1] 751
610 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1868
609 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1398
608 전자 온도 구하기 [1] file 1066
607 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 309
606 CVD 공정에서의 self bias [1] 2955
605 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3295
604 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1020
603 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1833
602 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1351
601 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1028
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 916
599 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1554
598 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2566
597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1753
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3096
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 222
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2254

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