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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69048
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794 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 154
793 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 47
792 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 73
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 179
790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 161
789 플라즈마 설비에 대한 질문 129
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 146
787 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 319
786 skin depth에 대한 이해 [1] 258
785 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 176
784 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 157
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 324
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 247
781 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 203
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 100
779 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 429
778 Microwave & RF Plasma [1] 195
777 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 256
776 ICP에서 전자의 가속 [1] 214
775 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 86

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