안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.

 

광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중

 

PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.

 

Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,

 

n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne

 

n1 = Ground State Density

n0 = Total Gas Density

n1sx = Ar 4s

ne = Electron Density

 

1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)

 

2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?

   - Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼

   - On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음

 

항상 좋은정보 감사드립니다~~

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79226
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58058
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69616
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94400
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1139
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 729
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 707
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2153
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 567
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 616
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 731
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 694
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1351
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1442
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1187
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 819
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1138
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 610
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1570
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1541
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 526
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 866
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 997
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 909

Boards


XE Login