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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[275]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20251 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57192 |
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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755 |
GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
[1] | 251 |
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754 |
대기압 플라즈마 문의드립니다
[1] | 251 |
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753 |
Etch Plasma 관련 문의 건..
[1] | 253 |
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752 |
Edge ring의 역할 및 원리 질문
[1] | 253 |
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751 |
gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다
[1] | 264 |
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750 |
RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다.
[1] | 266 |
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749 |
메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘
[1] | 275 |
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748 |
RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요?
[1] | 292 |
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747 |
Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다.
[1] | 313 |
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746 |
RF sputter 증착 문제 질문드립니다.
[1]  | 317 |
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745 |
RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?
[1] | 319 |
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744 |
E-field plasma simulation correlating with film growth profile
[1] | 320 |
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743 |
공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 322 |
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742 |
플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할
[1] | 326 |
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741 |
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
[1] | 340 |
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740 |
Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
| 342 |
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739 |
plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다
[1] | 352 |
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738 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문
[2] | 355 |
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737 |
RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다.
[1] | 357 |
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736 |
chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의
[1] | 361 |
