안녕하세요 교수님 유용한 답변 항상 잘 활용하고 있습니다.

 

제가 부족한 점이 많아 자꾸만 여기에 여쭙게 되네요.

 

저는 CCP Plasma를 base로 하는 장비를 주력으로 다루고 있습니다. 

 

저희는 RF를 Showerhead에 걸어주는데요. 

 

이번에 TC를 통해서 Plasma가 켜졌을 때 Showerhead의 온도 동향을 파악하는 평가를 하려고 합니다.

 

그래서 Showerhead에 TC를 달아서 온도를 측정하려고 합니다.

 

그런데, 제가 알기로는 TC는 온도에 따라 다르게 형성되는 전압을 측정해 온도를 측정하는 것으로 알고있습니다.

 

그래서 Showerhead에 강한 Power(2000~3000W)를 걸어주었을 때 TC에 어떤 문제가 생기지는 않을까 걱정이 됩니다.

 

교수님은 어떻게 생각하시는지요?

 

혹은 추천해주실만한 다른 측정법이 있으신지 궁금합니다.

 

항상 감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77218
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68901
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92950
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3606
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14910
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1371
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1029
» RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 887
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2332
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1545
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1441
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 724
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 1034
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 741
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 735
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1481
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2039
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 824
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2142
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1506
609 전자 온도 구하기 [1] file 1178
608 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 328
607 CVD 공정에서의 self bias [1] 3209

Boards


XE Login