Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점

2022.05.12 00:29

윤태화 조회 수:763

안녕하세요. 반도체회사에서  PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.

 

GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.

 

1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

3. N2 / N2O  두 Gas의 Plasma 차이점 

4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..

 

위 4개 질문드립니다. 

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5833
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17288
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64505
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85118
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 275
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 263
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 224
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 243
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 362
673 Plasma Arching [1] 439
672 Polymer Temp Etch [1] 227
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 461
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 185
669 플라즈마 관련 교육 [1] 724
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 339
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 236
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 124
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 409
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 456
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1267
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 693
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 356
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 433
» N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 763

Boards


XE Login