Deposition PEALD관련 질문
2019.06.21 13:12
안녕하십니까?
현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...
PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.
PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
수고하십시오.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68748 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92613 |
| 797 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 8 |
| 796 | Druyvesteyn Distribution | 11 |
| 795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 18 |
| 794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 22 |
| 793 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 24 |
| 792 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 49 |
| 791 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 55 |
| 790 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 63 |
| 789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 63 |
| 788 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 67 |
| 787 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 68 |
| 786 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
| 785 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 77 |
| 784 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 86 |
| 783 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 91 |
| 782 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 110 |
| 781 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 113 |
| 780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 118 |
| 779 | Microwave & RF Plasma [1] | 134 |
| 778 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 135 |
에처 쪽의 PEALD 관심은 passivation 막 증착 과정의 세밀한 제어를 목적으로 할 것 같습니다. 공정 난도가 클 때 쓰는 기술로서 개발되는 것으로 알고 있습니다. 이 부분은 실공정 기술에 경험이 있는 팀이 잘 알것 같군요. 원리에 대해서는 많은 교재가 있는 것으로 알고 있습니다. 아울러 장비 쪽으로 문제를 보려면 아래 '질소 플라즈마..' 댓글로 부터 펄스 플라즈마 역할과 접목해서 문제를 보시기 바랍니다.