안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.


제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.

다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.

진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.


제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.

1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리

2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리


이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,

이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.

제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.

답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.

제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.


답변 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75432
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56480
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67563
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89371
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1258
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1039
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5216
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 737
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1552
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2127
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2401
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 501
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3205
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16493
558 알고싶습니다 [1] 1220
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2079
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 725
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 616
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2590
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1372
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2316
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 602
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1427
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 3765

Boards


XE Login