Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76859 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20264 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68749 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92634 |
457 | 터보펌프 에러관련 [1] | 1768 |
456 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 599 |
455 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1408 |
454 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 803 |
453 | ESC Cooling gas 관련 [1] | 3552 |
452 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 965 |
451 | 플라즈마 코팅 [1] | 1038 |
450 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2591 |
449 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 512 |
448 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1304 |
447 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 761 |
446 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 823 |
445 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 855 |
444 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 974 |
443 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 561 |
442 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1670 |
441 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 391 |
440 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
439 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2334 |
438 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1672 |