번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77790
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20741
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57663
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69159
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93441
357 가입인사드립니다. [1] 1889
356 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1888
355 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1883
354 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1857
353 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1822
352 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1818
351 터보펌프 에러관련 [1] 1808
350 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1780
349 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1769
348 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1767
347 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1753
346 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1747
345 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1739
344 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1735
343 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1710
342 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1707
341 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1683
340 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1665
339 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1656
338 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1654

Boards


XE Login