Collision 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
2014.05.02 15:51
플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요
분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.
근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서 위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.
이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요
혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76908 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20295 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57215 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68765 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92727 |
| 299 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1445 |
| 298 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1442 |
| 297 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1439 |
| 296 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1438 |
| 295 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
 | 1427 |
| 294 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1420 |
| 293 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1417 |
| 292 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1411 |
| 291 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1409 |
| 290 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1398 |
| 289 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1394 |
| 288 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1391 |
| 287 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1391 |
| 286 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1383 |
| 285 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1380 |
| 284 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1370 |
| 283 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1370 |
| 282 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1369 |
| 281 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1355 |
| 280 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1351 |
비이송식 플라즈마 토치를 이용해서 기체를 분해할 때의 현상에 대한 것으로 미루어 짐작됩니다.
또한 공간상 밀도가 저온영역에서 높아진다는 것으로 미루어 볼 때 분해종이 분사되는 과정에서
단순하게 확산되는것이 아니라 계속해서 화하반응을 하고 있는 것으로 이해 됩니다.
만약 전극과 전극 사이에서 플라즈마 기둥이 형성된, 즉 플라즈마 방전이 이뤄지는 공간내에서의 결과라면
이는 전자와의 에너지교환이 주 원인이 됩니다.
해당 분해종의 rotational energy 준위가 다른 종들에 비해서 낮을 경우 온도가 높아질 수 있습니다.
플라즈마 분사영역에서의 결과라면 이는 다른 분해종들과의 화학반응에 따른 결과입니다.
각 분해물들의 화학반응은 분사영역에서의 엔탈피와 온도에 크게 영향을 받게 됩니다.
말씀하신 분해종이 고온영역에서는 rotational temperature가 높고 저온영역에서 밀도가 높아진다면,
그 분해종을 형성할 수 있는 화학반응이 저온영역에서 활발하다는 뜻이 됩니다.
내부에서 rotational 온도가 높다는 것은 그 영역에서는 다른 분해종과의 에너지 교환이 적은 것입니다.
이 부분은 해당 분해종의 구성물/다른 분해종과의 질량차가 주 원인이 됩니다.
예를들어 OH와 같이 무게 중심이 O 쪽으로 치우친 화학종의 경우 N2와 같이 질량이 동일한 분자에 비해서
rotational temperature와 vibrational temperature가 대체적으로 높게 형성됩니다.
플라즈마 토치에서 분자의 rotational temperature에 대해서는 논문들이 다수 보고되어 있으니
참고해보시기 바랍니다.
감사합니다.