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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[317]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 22003 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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304 |
Plasma 에칭 후 정전기 처리 [표면 전위 생성 및 방전]
[3] | 3195 |
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303 |
Dry Etching Uniformity 개선 방법 [장치 구조에 따른 공간 분포]
[2] | 4543 |
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302 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계]
[1] | 1371 |
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301 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율]
[1] | 2006 |
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300 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma]
[1] | 1815 |
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DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering]
[2] | 3994 |
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298 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [DC 글로우 방전 및 Breakdown]
[1] | 3345 |
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297 |
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
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296 |
Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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295 |
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법]
[3] | 1454 |
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294 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석]
[1] | 2005 |
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293 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해]
[1] | 2346 |
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292 |
수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의]
[1] | 1473 |
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291 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌]
[1] | 3082 |
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290 |
수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징]
[1] | 9791 |
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289 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성]
[1] | 2262 |
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288 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2038 |
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287 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성]
[1] | 2785 |
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자료 요청드립니다.
[1] | 6307 |
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285 |
ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
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