안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79237
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58061
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69618
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94402
303 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1459
302 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1448
301 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1442
300 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable] [1] 1438
299 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor] [1] 1438
298 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1436
297 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1424
296 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1419
295 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1416
294 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1404
293 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 1397
292 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1390
291 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1383
290 플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건] [2] 1380
289 Plasma etch 관련 질문이 드립니다. [Sheath와 uniformity] [1] 1353
288 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1351
287 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1341
286 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1341
285 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1340
284 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1337

Boards


XE Login